實驗室氣路工程招標

　　

　　實驗室氣路工程招標使用先進的自動焊接施工工藝安裝管道、減壓器、壓力表、高壓金屬軟管、鋼瓶接頭、焊接接頭、卡套接頭、不鏽鋼潔淨管等。

　　

　　（1）易燃性氣體

　　把自燃、易燃、可燃氣體等都定義為這類氣體。如常溫下的SiH4氣體隻要與空氣接觸就會燃燒，當環境溫度達到一定時，PH3與B2H6等氣體也會產生自燃。可燃易燃氣體都有一定的著火燃燒爆炸範圍，即上限、下限值。此範圍越大的氣體起爆炸燃燒危險性就越高，如B2H6的爆炸上限為98%，爆炸下限為0.9%。屬於易燃氣體有H2,NH3,PH3,DCS,ClF3。

　　

　　

　　

　　（2）毒性氣體（ToxicGas）：半導體製造行業中使用的氣體很多都是對人體有害、有毒的。其中又以AsH3,B2H6,PH3等氣體的毒性最大，它們的閾限值TLV（ThresholdLimitedValve）分別隻有50×10-9,100×10-9,300×10-9。這些氣體在工作環境中的允許濃度極微，因此在貯存、輸送以及使用的過程中都要求特別的小心。一般都應該采取特定的技術措施來控製使用這些氣體。NO,C4F6,C5F8,NF3,CH3F等都屬於毒性氣體。

　　

　　（3）腐蝕性氣體（CorrosiveGas）：這些腐蝕性氣體通常同時也兼有較強的毒性。腐蝕性氣體在幹燥狀態下一般不易侵蝕金屬，但在遇到水的環境下就顯示出很強的腐蝕性，如HCl,HF,PCl3,SiF4,ClF3，WF6等。

　　

　　（4）惰性氣體(InertGas)：隋性氣體本身一般不會直接對人體產生傷害，在氣體傳輸過程中，相對於安全上的要求不如以上其他氣體嚴格。但惰性氣體具有窒息特性，在密閉空間若發生泄漏會使人窒息而造成工傷事故。屬於這類的氣體有C2F6,CF4,SF6,CHF3等。

　　

　　（5）氧化性氣體（OxideGas）：這類氣體有較強的氧化性，一般同時具有其他特性，如毒性或腐蝕性等。屬於這類的氣體有ClF3,Cl2,NF3等。

　　

　　不鏽鋼製管件是用來傳輸各種製程氣體的主要管件，尤其是傳輸一些劇毒易燃易爆的危險性氣體。所以不鏽鋼製管件的製作和施工要求在以上幾種不同材質的管件中嚴格，一般對於P級要求（×10-9級）製程氣體的輸送，均要求采用SUS316材質的EP(ElectronicPolishing)管材，對於一般非製程氣體的輸送采用SUS316材質的BA（BrightAnneal）管材。SUS316作為一種低含碳量的不鏽鋼材料，它不僅具有抗腐蝕性好的優點，而且對凹洞的抵抗性也很好。由於BA管的製作是經過了溶解、壓延（Hot/ColdRolling）、溶接(Welding)、熱處理(Hottreatment)、研磨(Polishing)等複雜過程，其表麵粗糙度Rmax≦4.5mm。EP管材除了表麵研磨等過程外，再加以電解研磨及精密洗淨技術，其Rmax≦0.7mm。使用先進的自動焊接施工工藝安裝管道、減壓器、壓力表、高壓金屬軟管、鋼瓶接頭、焊接接頭、卡套接頭、不鏽鋼潔淨管等。

　　

　　（1）易燃性氣體

　　把自燃、易燃、可燃氣體等都定義為這類氣體。如常溫下的SiH4氣體隻要與空氣接觸就會燃燒，當環境溫度達到一定時，PH3與B2H6等氣體也會產生自燃。可燃易燃氣體都有一定的著火燃燒爆炸範圍，即上限、下限值。此範圍越大的氣體起爆炸燃燒危險性就越高，如B2H6的爆炸上限為98%，爆炸下限為0.9%。屬於易燃氣體有H2,NH3,PH3,DCS,ClF3。

　　

　　（2）毒性氣體（ToxicGas）：半導體製造行業中使用的氣體很多都是對人體有害、有毒的。其中又以AsH3,B2H6,PH3等氣體的毒性最大，它們的閾限值TLV（ThresholdLimitedValve）分別隻有50×10-9,100×10-9,300×10-9。這些氣體在工作環境中的允許濃度極微，因此在貯存、輸送以及使用的過程中都要求特別的小心。一般都應該采取特定的技術措施來控製使用這些氣體。NO,C4F6,C5F8,NF3,CH3F等都屬於毒性氣體。

　　

　　（3）腐蝕性氣體（CorrosiveGas）：這些腐蝕性氣體通常同時也兼有較強的毒性。腐蝕性氣體在幹燥狀態下一般不易侵蝕金屬，但在遇到水的環境下就顯示出很強的腐蝕性，如HCl,HF,PCl3,SiF4,ClF3，WF6等。

　　

　　（4）惰性氣體(InertGas)：隋性氣體本身一般不會直接對人體產生傷害，在氣體傳輸過程中，相對於安全上的要求不如以上其他氣體嚴格。但惰性氣體具有窒息特性，在密閉空間若發生泄漏會使人窒息而造成工傷事故。屬於這類的氣體有C2F6,CF4,SF6,CHF3等。

　　

　　（5）氧化性氣體（OxideGas）：這類氣體有較強的氧化性，一般同時具有其他特性，如毒性或腐蝕性等。屬於這類的氣體有ClF3,Cl2,NF3等。

　　

　　不鏽鋼製管件是用來傳輸各種製程氣體的主要管件，尤其是傳輸一些劇毒易燃易爆的危險性氣體。所以不鏽鋼製管件的製作和施工要求在以上幾種不同材質的管件中嚴格，一般對於P級要求（×10-9級）製程氣體的輸送，均要求采用SUS316材質的EP(ElectronicPolishing)管材，對於一般非製程氣體的輸送采用SUS316材質的BA（BrightAnneal）管材。SUS316作為一種低含碳量的不鏽鋼材料，它不僅具有抗腐蝕性好的優點，而且對凹洞的抵抗性也很好。由於BA管的製作是經過了溶解、壓延（Hot/ColdRolling）、溶接(Welding)、熱處理(Hottreatment)、研磨(Polishing)等複雜過程，其表麵粗糙度Rmax≦4.5mm。EP管材除了表麵研磨等過程外，再加以電解研磨及精密洗淨技術，其Rmax≦0.7mm。