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實驗室氣路工程規劃設計

簡要描述:實驗室氣路工程規劃設計主要由氣源切換係統、管道係統、調壓係統、用氣點、監控及報警係統組成。對於一些易燃易爆氣體,如氫氣、乙炔等,可能在設計和施工過程中稍有差異,必須加入氣體回火防止器等安全控製裝置。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2020-11-03
  • 訪  問  量:35
產品詳情

實驗室氣路工程規劃設計要求科學、高效、安全、便利的原則。

采用不鏽鋼材質管路以及不鏽鋼街頭卡套,全通閥芯,堅固耐用。

實驗室氣路工程規劃設計使用先進的自動焊接施工工藝安裝管道、減壓器、壓力表、高壓金屬軟管、鋼瓶接頭、焊接接頭、卡套接頭、不鏽鋼潔淨管等。

(1)易燃性氣體
把自燃、易燃、可燃氣體等都定義為這類氣體。如常溫下的SiH4氣體隻要與空氣接觸就會燃燒,當環境溫度達到一定時,PH3與B2 H6等氣體也會產生自燃。可燃易燃氣體都有一定的著火燃燒爆炸範圍,即上限、下限值。此範圍越大的氣體起爆炸燃燒危險性就越高,如B 2H6的爆炸上限為98%,爆炸下限為0.9%。屬於易燃氣體有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。

(2)毒性氣體(Toxic Gas):半導體製造行業中使用的氣體很多都是對人體有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體的毒性最大,它們的閾限值TLV(Threshold Limited Valve)分別隻有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。這些氣體在工作環境中的允許濃度極微,因此在貯存、輸送以及使用的過程中都要求特別的小心。一般都應該采取特定的技術措施來控製使用這些氣體。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都屬於毒性氣體。

(3)腐蝕性氣體(Corrosive Gas):這些腐蝕性氣體通常同時也兼有較強的毒性。腐蝕性氣體在幹燥狀態下一般不易侵蝕金屬,但在遇到水的環境下就顯示出很強的腐蝕性,如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3,WF6等。

(4)惰性氣體(Inert Gas): 隋性氣體本身一般不會直接對人體產生傷害,在氣體傳輸過程中,相對於安全上的要求不如以上其他氣體嚴格。但惰性氣體具有窒息特性,在密閉空間若發生泄漏會使人窒息而造成工傷事故。屬於這類的氣體有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。

(5)氧化性氣體(Oxide Gas):這類氣體有較強的氧化性,一般同時具有其他特性,如毒性或腐蝕性等。屬於這類的氣體有ClF3 ,Cl2,NF3等。
 

 

氣體管路壓力測試要求

1、管道試壓應全麵檢查,檢查已安裝的管道、管件、閥門、緊固件和支架等,質量應符合設計要求和技術規範的規定。

2、管道試壓應編製試壓計劃,根據工作壓力係統進行試壓。一般來說,在相同的大氣環境中,不需要對非壓力管道進行壓力測試,例如排氣管和排水管。

3.試壓前,應使用盲板將不能進行試壓的設備與管道和不同於壓力係統的管道係統隔離開來。不應與管道係統一起進行壓力測試的管道附件應拆除。短管的臨時安裝。

4.管道中的所有開口應關閉,係統中的閥門應打開。係統點應配備排氣閥,點應配備排水閥。5.壓力試驗期間,應使用精度等級在1.5以上的兩個壓力表。

5.壓力表的測量範圍應為被測最大壓力的1.5~2倍。一個壓力表應安裝在試壓泵的出口,另一個壓力表應安裝在係統壓力波動相對較小的其他位置。

6.試壓時,壓力應緩慢升至試驗壓力,並觀察管道各部分的情況。如果發現問題,應在卸壓後進行修理,禁止帶壓修理。缺陷消除後,重新測試壓力。

7、壓力試驗時,無關人員不能進入,以防受傷。

8.對於劇毒管線和設計壓力P≥10Mpa的管線,在試壓前,設計單位應根據規範要求對所有數據進行複核,並確認無誤。

9.壓力試驗計劃已獲批準,並已進行技術交底。

10.管道係統試驗合格後,應及時填寫《管道係統壓力試驗記錄》,並由相關人員簽字確認。

 

 

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